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Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR)
Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Abteilung Halbleitermaterialien
Adresse
Bautzner Landstraße 400
01328 Dresden
Deutschland
- Sachbeihilfen
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laufende Projekte
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abgeschlossene Projekte
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3D-Strukturierung von dünnen Oxid-Mehrfachschichten mit dem Ionenstrahl(Antragstellerinnen / Antragsteller Gemming, Sibylle ; Zhou, Shengqiang )
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laufende Projekte