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Institution

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Technische Universität Ilmenau
Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano

Adresse Gustav-Kirchhoff-Straße 7
98693 Ilmenau
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

98693 Ilmenau

Projekte

Sachbeihilfen
- laufende Projekte
  - 2D und 3D Werkstoff-Morphologien für das reaktive Mikrofügen in der Elektronik
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Bartsch, Heike ; Schaaf, Peter )
  - Fluidische Selbstorganisation und Selbstkontaktierung von mikroskopischen Chips
    (Antragsteller Jacobs, Heiko ; Reiprich, Johannes )
  - Lokal programmierbare chemische Gasphasenabscheidung mittels eines entdeckten durch Corona-Entladung aufgeladenen Präkursorflusses, der zeitlich und örtlich einstellbares Wachstum ermöglicht
    (Antragsteller Jacobs, Heiko ; Schlag, Leslie )
  - Thermodynamik und Kinetik von Ni/Al und Ru/Al Morphologien
    (Antragstellerin Gallino, Ph.D., Isabella )

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