SFB 516:
Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme
Fachliche Zuordnung
Maschinenbau und Produktionstechnik
Förderung
Förderung von 1998 bis 2010
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5482803
Der Sonderforschungsbereich 516 liefert methoden- und bauelementbezogene Grundlagen für die Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme. Eines der Ziele ist es, einen systematischen Konstruktionsprozess für aktive Mikrosysteme unter Berücksichtigung von Baukastensystemen mit standardisierten Komponenten bereitzustellen. Integriert wird in den Konstruktionsprozess außerdem eine präventive Qualitätssicherung, die auf funktionelle und fertigungstechnische Randbedingungen Bezug nimmt. Hiermit können auch bei kleineren Stückzahlen der Entwicklungs- und Erprobungsaufwand begrenzt und wirtschaftliche Neuentwicklungen ermöglicht werden. Weiterhin werden Grundlagen für die unterschiedlichen Fertigungstechnologien für aktive Mikrosysteme erarbeitet. Dies beinhaltet nicht nur mikrotechnische Fertigungsmethoden, sondern auch konventionelle Bearbeitungsverfahren, wie z.B. spanende oder abtragenden Verfahren. Damit werden flexible Fertigungstechnologien bereitgestellt sowie weitere Werkstoffe für die mikrotechnische Anwendung erschlossen. Eng mit den Fertigungsmethoden verbunden ist die Erarbeitung von neuartigen, an die speziellen Randbedingungen angepassten Montagetechnologien. Diese werden insbesondere gekennzeichnet durch die notwendige Genauigkeit, die sich aufgrund der extrem kleinen Toleranzen sowie dem veränderten Teileverhalten bei Mikrobauteilen ergibt. In diesem Zusammenhang ist auch eine Weiterentwicklung der Fertigungsmesstechnik von hoher Bedeutung. Aufgrund der bei vielen Aktoranwendungen auftretenden Relativbewegungen zwischen einzelnen Funktionsbaugruppen bei aktiven Mikrosystemen wird das Verschleiß- und Reibungsverhalten von Mikrokomponenten untersucht, um Grundlagen für Komponenten zur Führung und Lagerung der bewegten Elemente bereitzustellen. Auf dieser Basis werden aktive Linearführungen für Mikrosysteme entwickelt.
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Abgeschlossene Projekte
-
A01 - Auslegung aktiver Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Gatzen, Hans-Heinrich
;
Ponick, Bernd
)
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A03 - Modulare rechnerunterstützte Entwurfsumgebung für aktive Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Büttgenbach, Stephanus
;
Franke, Hans-Joachim
)
-
A5 - Steuerung und Regelung aktiver Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Hesselbach, Jürgen
;
Stölting, Hans-Dieter
)
-
A06 - Steuerung und Regelung aktiver Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Mertens, Axel
)
-
B01 - Fertigung magnetischer Schichten für elektromagnetische Mikroaktoren
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Bräuer, Günter
;
Gatzen, Hans-Heinrich
;
Ruffert, Christine
)
-
B2 - Fertigung von Erregerspulen für elektromagnetische Mikroaktoren
(Teilprojektleiter
Büttgenbach, Stephanus
;
Gatzen, Hans-Heinrich
)
-
B03 - Spanende Mikrobearbeitung
(Teilprojektleiter
Denkena, Berend
;
Hoffmeister, Hans-Werner
)
-
B04 - Sensorführung von Mikromontageprozessen
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Hesselbach, Jürgen
;
Raatz, Annika
;
Tutsch, Rainer
)
-
B05 - Baueinheiten zur Montage aktiver Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Büttgenbach, Stephanus
;
Hesselbach, Jürgen
)
-
B06 - Geometrische Messtechnik
(Teilprojektleiter
Brand, Uwe
;
Koenders, Ludger
;
Wilkening, Günter
)
-
B07 - Fertigung von Funktionskomponenten für elektromagnetische Mikroaktoren
(Teilprojektleiter
Büttgenbach, Stephanus
;
Gatzen, Hans-Heinrich
)
-
B08 - Klebstoffverarbeitung in Batch-Technologie zur Fertigung von Mikrosystemen
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Böhm, Stefan
;
Dilger, Klaus
;
Raatz, Annika
)
-
C01 - Verschleißverhalten bei Mikrokomponenten
(Teilprojektleiter
Bräuer, Günter
;
Gatzen, Hans-Heinrich
)
-
C02 - Reibungsverhalten bei Mikroführungen
(Teilprojektleiter
Bräuer, Günter
;
Büttgenbach, Stephanus
)
-
C03 - Aktive Linearführungen für Mikrosysteme
(Teilprojektleiter
Denkena, Berend
)
-
C05 - Wegmesstechnik
(Teilprojektleiter
Koenders, Ludger
;
Kolleck, Christian
;
Ostendorf, Andreas
;
Wilkening, Günter
)
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T01 - Aufbau eines bistabilen Mikroventils für medizinische Anwendungen
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Leester-Schädel, Monika
;
Seidel, Helmut
)
-
T02 - Aufbau eines größenangepassten Handhabungsgerätes mit Mikroantriebstechnik für die Mikromontage
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Hesselbach, Jürgen
;
Raatz, Annika
)
-
T03 - Automatisierte optische BGA Inspektion - AUTOBIN
(Teilprojektleiter
Tutsch, Rainer
)
-
Z - Zentrale Aufgaben
(Teilprojektleiter
Büttgenbach, Stephanus
)