SFB 516:  Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme

Fachliche Zuordnung Maschinenbau und Produktionstechnik
Förderung Förderung von 1998 bis 2010
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5482803
 

Projektbeschreibung

Der Sonderforschungsbereich 516 liefert methoden- und bauelementbezogene Grundlagen für die Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme. Eines der Ziele ist es, einen systematischen Konstruktionsprozess für aktive Mikrosysteme unter Berücksichtigung von Baukastensystemen mit standardisierten Komponenten bereitzustellen. Integriert wird in den Konstruktionsprozess außerdem eine präventive Qualitätssicherung, die auf funktionelle und fertigungstechnische Randbedingungen Bezug nimmt. Hiermit können auch bei kleineren Stückzahlen der Entwicklungs- und Erprobungsaufwand begrenzt und wirtschaftliche Neuentwicklungen ermöglicht werden. Weiterhin werden Grundlagen für die unterschiedlichen Fertigungstechnologien für aktive Mikrosysteme erarbeitet. Dies beinhaltet nicht nur mikrotechnische Fertigungsmethoden, sondern auch konventionelle Bearbeitungsverfahren, wie z.B. spanende oder abtragenden Verfahren. Damit werden flexible Fertigungstechnologien bereitgestellt sowie weitere Werkstoffe für die mikrotechnische Anwendung erschlossen. Eng mit den Fertigungsmethoden verbunden ist die Erarbeitung von neuartigen, an die speziellen Randbedingungen angepassten Montagetechnologien. Diese werden insbesondere gekennzeichnet durch die notwendige Genauigkeit, die sich aufgrund der extrem kleinen Toleranzen sowie dem veränderten Teileverhalten bei Mikrobauteilen ergibt. In diesem Zusammenhang ist auch eine Weiterentwicklung der Fertigungsmesstechnik von hoher Bedeutung. Aufgrund der bei vielen Aktoranwendungen auftretenden Relativbewegungen zwischen einzelnen Funktionsbaugruppen bei aktiven Mikrosystemen wird das Verschleiß- und Reibungsverhalten von Mikrokomponenten untersucht, um Grundlagen für Komponenten zur Führung und Lagerung der bewegten Elemente bereitzustellen. Auf dieser Basis werden aktive Linearführungen für Mikrosysteme entwickelt.
DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche

Abgeschlossene Projekte

Antragstellende Institution Technische Universität Braunschweig
Beteiligte Hochschule Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
Beteiligte Institution Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST); Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH); Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Sprecher Professor Dr. Stephanus Büttgenbach; Professor Dr.-Ing. Jürgen Hesselbach, bis 6/2006