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Institution

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Universität des Saarlandes
Fachrichtung Systems Engineering
Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik / Mikroaktorik (aufgelöst)

Adresse Campus, Geb. A5 1
66123 Saarbrücken
Deutschland

66123 Saarbrücken

Projekte

Schwerpunktprogramme
- abgeschlossene Projekte
  - Erzeugung von Sub-100nm Strukturen mittels infrarotem Sub-15-Femtosekunden-Lasermikroskop
    (Antragsteller König, Karsten ; Seidel, Helmut ; Straub, Martin )
Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Aufbau einer mit Reaktivgas gefüllten, hochgenauen Atomresonanzzelle mittels Ionenimplantation
    (Antragsteller Ryssel, Heiner ; Seidel, Helmut )
  - Mikroresonatoren für Anwendungen in Flüssigkeiten und Gasen
    (Antragsteller Seidel, Helmut )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Aufbau eines bistabilen Mikroventils für medizinische Anwendungen
    (Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Leester-Schädel, Monika ; Seidel, Helmut )

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