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Person

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Dr. Serhiy Danylyuk

Adresse Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT)
Steinbachstraße 15
52074 Aachen

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Realisierung dreidimensionaler künstlicher Ge Quantenpunkt-Kristalle durch Interferenz-Lithographie mit extrem ultravioletter Strahlung und Molekularstrahlepitaxie (Sachbeihilfen)
Als Ehemaliger Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Skalierungsgrenzen einer kompakten EUV-Nanostrukturierungsanlage hinsichtlich Auflösung und Durchsatz - Erkenntnistransfer-Projekt (Sachbeihilfen) bis 2/2020

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