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Professor Dr.-Ing. Stefan E. Schulz

Adresse Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Hochempfindliche Bewegungsdetektion auf Basis feldemittierender Kohlenstoffnanoröhren (Sachbeihilfen)
  - Integration von Kohlenstoffnanoröhren in Nanosysteme (Forschungsgruppen)
  - Kombination spektroskopischer Verfahren zur Erforschung grundlegender Mechanismen der Poren- und Netzwerkbildung in mesoporösen low-k Dielektrika (Sachbeihilfen)
  - Kristallisationsmechanismen von CoFeB-basierten TMR-Schichtstapeln bei Laser-Annealing (Sachbeihilfen)
Als beteiligter Wissenschaftler
- abgeschlossene Projekte
  - GRK 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme (Internationale Graduiertenkollegs)

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