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Person

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Dr. Lars Rebohle

Adresse Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR)
Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Postfach 51 01 19
01314 Dresden

ORCID-ID 0000-0002-8066-6392

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Dotierung von Ge und SiGe aus dotierstoffhaltigen mittels ALD erzeugten Schichten: Abscheidung – Flash-Lamp-Annealing – SIMS-Metrologie (Sachbeihilfen)

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