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Professor Dr.-Ing. Klaus-Dieter Lang

Adresse Technische Universität Berlin
Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien
Fachgebiet Nano Interconnect Technologies
Gustav-Meyer-Allee 25
13355 Berlin

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Multifunktionale Integration miniaturisierter Satellitenkomponenten zur Erhöhung der Nutzlastkapazität für Kleinsatelliten (Sachbeihilfen)
  - Elektrische Modellbildung, Charakterisierung und Entwurf von Silizium Durchkontaktierungen für Anwendungen in integrierten Systemen (Sachbeihilfen)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Entwicklung mikrosystemtechnischer Werkzeugmaschinenstrukturen für gewichts- und genauigkeitsoptimierte Gestelle "LEG2O-Gestell" (Sonderforschungsbereiche)

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