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Professor Dr. Andreas Mai

Adresse Innovations for High Performance Microelectronics (IHP)
Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Abteilung Technologie
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Dotierung von Ge und SiGe aus dotierstoffhaltigen mittels ALD erzeugten Schichten: Abscheidung – Flash-Lamp-Annealing – SIMS-Metrologie (Sachbeihilfen)
Als Teilprojektleiter
- laufende Projekte
  - Von integrierten CMOS-Bausteinen zum Verhaltensentwurf von memristiven Schaltungen (Sonderforschungsbereiche)

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