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Dr.-Ing. Xiao Hu, Ph.D.

Adresse Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Zentrum für Mikrotechnologien
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenätzprozesse durch Computerchemie (Sachbeihilfen)

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