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Dr.-Ing. Reinhard Mikuta

Adresse Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Institut für Mikro- und Sensorsysteme
Lehrstuhl für Halbleitertechnologie
(aufgelöst)
Postfach 4120
39016 Magdeburg

Projekte

Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern (Sachbeihilfen)
  - Kapazitive und ohmsche mikroelektromechanische Schalter mit Brückenstrukturen aus Federstahl, insbesondere für Hochfrequenzanwendungen (Sachbeihilfen)

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