Nanometerpräzise Strukturierung von Festkörpern und dünnen Schichten durch laserinduziertes Vorderseitenätzen

• Applicant: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 2010 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 136302519

Ziel des Vorhabens ist die Untersuchung eines lasergestützten Ätzprozesses zur präzisen Mikrostrukturierung von Festkörpern und Schichten ohne Durchstrahlung des Substrates. Die wesentlichen Zielsetzungen der Grundlagenuntersuchungen umfassen die Ermittlung von Parametereinflüssen auf den Ätzprozess und der erzielbaren Eigenschaften geätzter Festkörper und Schichten, die Bestimmung der abtragsbestimmenden Prozesse des Ätzens, die Messung der Ätzdynamik sowie die Erstellung eines Modells zur Beschreibung des Ätzens. In der anschließenden Phase der Methodenoptimierung werden Fragen des kontinuierlichen Ätzens anwendungsrelevanter Materialien und Schichtsysteme zur nanometertiefengenauen Strukturierung mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich adressiert, die für zukünftige Technikanwendungen beispielweise in der Optik von Interesse sind.

• DFG Programme: Research Grants