Nanotools for NPM-Machines (B07*)

• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: from 2009 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Ziel dieses Teilprojektes ist es, die NPM-Maschine um neuartige Werkzeuge zu einer multifunktionalen Bearbeitungsstation zu erweitern. Die hochintegrierten optisch arbeitenden bzw. optisch adressierbaren Tools ermöglichen das berührungslose Manipulieren in Luft mittels optischer Pinzette und das Abtragen mittels optisch angeregter Plasmaätzung. Dazu werden mikrotechnische Werkzeugköpfe entwickelt, die flexibel in die NPM-Maschine integriert werden können. Damit werden neue Anwendungsfelder wie z.B. Kontroll- und Optimierungsmaßnahmen an MEMS / NEMS oder die Herstellung hochpräziser Kalibriernormale erschlossen.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann; Professor Dr. Stefan Sinzinger