Project Details
Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)
Subject Area
Materials Science
Term
from 2010 to 2013
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 101024871
Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.
DFG Programme
Collaborative Research Centres
Applicant Institution
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
Co-Applicant Institution
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
Project Heads
Professor Dr. Helmut Föll; Professor Dr. Bernhard Wagner