NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays (C02)

• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2014
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 101024871

Ziel dieses Teilprojekts ist die integrierte Herstellung von ME Sensoren und Sensorarrays mit Methoden der Mikro- bzw. Nanosystemtechnik. Die Schwerpunkte dieses Projekts in der ersten Antragsphase betreffen die Integration von ME Materialien auf bewegliche mikromechanische Strukturen einschließlich der Aufbau- und Verbindungstechnik, die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanische Resonanzen und die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren. Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor, für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt werden.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 855: Magnetoelektrische Verbundwerkstoffe - biomagnetische Schnittstellen der Zukunft
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Mitantragstellende Institution: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Eckhard Quandt; Professor Dr. Bernhard Wagner