Technologische Weiterentwicklung eines Großkammer-Rasterelektronenmikroskopes zur in situ-Charakterisierung großer Bauteile und Werkzeuge

• Applicant: Professor Dr. Joachim Mayer
• Subject Area: Materials Science
• Term: from 2010 to 2015
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 163323790

Das GK-REM am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie wurde im Rahmen der gleichnamigen Großgeräteinitiative der DFG beschafft. Es handelt sich um einen Prototyp. Die volle Funktionsfähigkeit und Betriebssicherheit des GK-REM wurde nicht erreicht, da diese Komponenten nicht gängigen Industriestandards entsprechen und die Integration nur unzureichend erfolgte.Im Bereich der Vakuumtechnologie und der Detektoren haben in den letzten Jahren entscheidende Weiterentwicklungen stattgefunden, welche die Einsatzmöglichkeiten und die Leistungsfähigkeit der Geräte in allen Nutzungsbereichen entscheidend verbessern würden. Die Arbeitsgemeinschaft der GK-REM-Nutzer hat Gerätemodifikationen zur Weiterentwicklung der Geräte erarbeitet.

• DFG Programme: Major Instrumentation Initiatives
• Major Instrumentation: Komponenten zum Ausbau des Großkammer-Rasterelektronenmikroskopes
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)