DRIE-Plasmaanlage

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 174835776

• Final Report Year: 2014

Final Report Abstract

VW-Stiftung: Integration of dielectrophoretic deposited Carbon Nanotubes and their reliabilitiy in mechanical sensor systems BMBF: NANO3PT, Technologieentwicklung und Herstellung von nanostrukturierbaren steuerbaren optischen Komponenten SAB/SMWK: SIMEIT, Stressarme Integration hochpräziser MEMS- und Elektronikkomponenten mittels neuartiger Interposer-Technologie DFG: Forschergruppe 1713, Sensorische Mikro- und Nanosysteme BMBF: GIPRIS, Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau DFG: Graduiertenkolleg 1215, Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme und Nanosysteme

Publications

• Investigations on partially filled HAR TSVs for MEMS applications. IITC-Tagung, Kyoto, Japan, 2013
  L. Hofmann, I. Schubert, K. Gottfried, S. E. Schulz, T. Gessner
  
• Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-Rückseitenkontaktierung. Mikrosystemtechnik-Kongress, Aachen, 2013 Oct 14-16
  Meinecke,C.; Hofmann,L.; Bertz,A.; Gottfried,K.; Gessner,T.
  
• Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen. DPG-Frühjahrstagung of the Condensed Matter Section, Dresden, 2014, Mar 30 - Apr 04 (ISSN 0420-0195)
  Schramm,M.; Haas,S.; Reuter,D.; Loebel,K.-U.; Heinz,S.; Bertz,A.; Horstmann,J.T.; Gessner,T.
  
• Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater. Microsyst Technol (2014) 20:1041-1050
  Peter Meszmer, Karla Hiller, Steffen Hartmann, Alexey Shaporin, Daniel May, Raul David Rodriguez, Jörg Arnold, Gianina Schondelmaier, Jan Mehner, Dietrich R. T. Zahn, Bernhard Wunderle