Control of permeation through nanocomposite materials (B02)

• Subject Area: Plastics Engineering
• Term: from 2010 to 2022
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 138690629

Das Ziel ist die Untersuchung des Erzeugungsprozesses von Nanokomposit-Permeabilitätsschichten aus Nanopartikeln (NP) in Plasma- oder ALD-erzeugten Matrixschichten sowie die Erforschung ihrer Eigenschaften. Die Kontrolle der Porosität des abgeschiedenen Nanokompositsfilms erfolgt durch die Kombination einer Plasmabasierten NP-Abscheidungsquelle (Si- oder C-NP) mit einer 2. Plasmaquelle für die Nanopartikelbehandlung und die Deposition einer Matrixschicht (aus SiO2, a-Si:H oder a-C:H). Zudem werden dicke Schichten aus NP (mehrere 10 nm) mittels PE-ALD nachbehandelt. Dies erlaubt eine ausgezeichnete Steuerung der Porengröße aufgrund der Submonolayerdicke und des konformen Wachstums der abgeschiedenen PE-ALD-Schicht erlaubt.

• DFG Programme: CRC/Transregios
• Subproject of: TRR 87: Pulsed High Power Plasmas for the Synthesis of Nanostructural Functional Layers
• Applicant Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Project Heads: Professor Jan Benedikt, Ph.D., from 7/2014 until 6/2018; Dr. Marc Böke; Professor Dr. Jörg Winter, until 6/2014