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Elementarschritte der elektrochemischen Reduktion von Refraktärmetallhalogeniden

Subject Area Physical Chemistry of Solids and Surfaces, Material Characterisation
Term from 2010 to 2014
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 179086983
 
Final Report Year 2015

Final Report Abstract

In diesem Projekt wurden folgende Schlüsselergebnisse erhalten: 1. Ionische Flüssigkeiten werden auf Elektrodenoberflächen stark adsorbiert, verschiedene Flüssigkeiten verschieden stark. 2. Fremdsalze wie bspw. LiCl beeinflussen die Grenzflächenschichten. 3. TaF5 als bisher einziger Prekursor für die Tantalabscheidung stört die Grenzflächenschichten von 1-Butyl-1-methylpyrrolidinium bis(trifluormethylsulfonyl) amid, [Py1,4]TFSA stark, während die Grenzflächenschichten von [Py1,4]FAP nicht beeinflusst werden, vielmehr wird in dieser IL TaF5 vollständig von der Elektrode verdrängt. 4. Die Abscheidung von kristallinem Niob gelingt in [Py1,4]TFSA aus NbF5 bei 170 °C in der Gegenwart von LiTFSA. 5. Die elektrochemische Reduktion der Refraktärhalogenide TaF5 und NbF5 ist ein komplexer mehrstufiger Prozess, der die Bildung mindestens einer relativ stabilen Zwischenspezies beinhaltet. 6. Die Art der ionischen Flüssigkeit, die Temperatur und die Art der Abscheidetechnik beeinflussen die Zusammensetzung, Struktur und Gefüge elektrochemisch abgeschiedener Ta-Schichten. 7. Ta-Schichten in guter Qualität können aus [Py1,4]TFSA bei 120°C mit potentiostatischen Rechteck-Pulsen abgeschieden werden. Die Ergebnisse dieses Projektes sind in ein BMBF-Projekt eingeflossen.

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