Steigerung der Prozesssicherheit durch Diagnose und Kompensation von Störungen bei Mikromontageprozessen

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Detlef Zühlke
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2006 to 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 18202438

In diesem Forschungsvorhaben wird ein neuartiger Ansatz zur Steigerung der Prozesssicherheit automatisierter Mikromontageprozesse untersucht. Trotz ausgefeilter Gerätetechnik, massivem Sensoreinsatz und der Verwendung von geregelten Justierverfahren sind automatisierte Mikromontageprozesse auf Grund der besonderen Eigenschaften der Mikrobauteile schwer zu beherrschen. Der hier vorgestellte Ansatz besteht darin, parallel zum Prozess Sensordaten auf die Auswirkungen von Störungen zu untersuchen, diese zu charakterisieren, um daraufhin eine korrigierende Reaktion auszulösen zu können. Ziel dieses Forschungsvorhabens ist die Konzeption und Verifikation einer Methodik zur prozessbegleitenden Diagnose von Störungen zur Beurteilung und Sicherung des Montageergebnisses. Kernpunkte sind dabei die Segmentierung des Montageprozesses, die formale Definition von gestörten und störungsfreien Montageprozessen, die Identifikation von Reaktionen auf gestörte Prozesse und die Beschreibung und Erfassung des Systemzustandes zur Diagnose von Störungen. Der Montageprozess wird in Prozessschritte und Montagefunktionen untergliedert, die eindeutig definierte Ziele aufweisen. Anhand dieser Gliederung erfolgt sowohl die Definition des gestörten und des störungsfreien Prozesses als auch möglicher korrigierenden Reaktionen. Durch die Erfassung physikalischer Attribute des Montagesystems werden von der Norm abweichende Systemzustände erkannt und somit flexible Diagnosemodule realisiert. Auf der Basis einer experimentellen Untersuchung werden Rückschlüsse auf die Auswirkung der Störungskompensation in der Mikromontage gezogen.

• DFG Programme: Research Grants