Feldemissionsrasterelektronenmikroskop mit Ionenstrahlsäule und Elektronenstrahllithographie-Schreibzusatz

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 184671840

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Regensburg
• Leiter: Professor Dr. Dieter Weiss