Feldemissionsrasterelektronenmikroskop mit Ionenstrahlsäule und Elektronenstrahllithographie-Schreibzusatz

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 184671840

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Universität Regensburg
• Leader: Professor Dr. Dieter Weiss