NEMS basierende Diamant Feld Emitter für eine neue Generation verlustarmer RF-Schalter

• Antragsteller: Professor Dr. Oliver Ambacher
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2011 bis 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 187805147

Dynamische RF NEMS Schalter, die durch ns Impulse angetrieben werden, sind bisher sehr wenig erforscht. Grund hierfür sind die notwenigen Abmessungen im Nanometerbereich und die schnelle Degradation der Schalter, die Milliarden mechanischer Bewegungen und elektrischer Kontakte pro Sekunde herstellen müssen. Deshalb besteht das Ziel des Projektes darin, neue Antriebs- und Übertragungsprinzipien für Nano-Schalter zu prüfen, um diese Probleme zu lösen. Wir haben vor, neue komplementäre unimorphe RF-Balken (RF-Cube) Schalter auf Basis von NEMS Technologien und dem Betrieb im kontaktlosen Modus zu realisieren, die durch Feldemission/Tunneling über eine Nano-Lücke zwischen zwei Balken aus Nanodiamant mit geringer Elektronenaffinität arbeiten. Der Betrieb der Schalter sollte entweder piezoelektrisch, durch die Bewegung komplementärer unimorpher AlN/Nanodiamant-Balken oder optisch durch ein kürzlich vorgestelltes Licht-induziertes Feldeffekt- Phänomen erfolgen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen