Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid

• Applicants: Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte; Professor Dr. Frank T. Edelmann
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 2011 to 2015
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 188543373

• Final Report Year: 2013

Final Report Abstract

Im Berichtszeitraum konnten am Lehrstuhl für Anorganische Chemie verschiedene neue Amidinat- und Guanidinat-Anionen synthetisiert und in Form ihrer Lithiumsalze isoliert werden. Dabei lag das Hauptaugenmerk auf kleinen aliphatischen Substituenten. Besonders erwähnenswert ist die erstmalige Synthese von Guanidinat-Anionen mit Aziridinyl-Substituenten. Mit Germanium konnte bereits eine Reihe vielversprechender Precursoren im 10 g-Maßstab hergestellt und dem Arbeitskreis Burte zur Verfügung gestellt werden. Beim Antimon und Tellur traten teils präparative Schwierigkeiten auf, die aber im weiteren Verlauf der Arbeiten sicherlich überwunden werden können. Im Arbeitskreis für Halbleitertechnik wurden kommerzielle und neu entwickelte Precursoren auf ihre Eignung zur Abscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid unter ALD-Bedingungen untersucht. Dabei wurden zuerst die Systeme Ge/Te und Sb/Te getrennt betrachtet und anschließend alle drei Precusoren für die Versuche zusammen eingesetzt. Es gelang dünne Schichten von Ge/Te, Sb/Te und Ge/Sb/Te abzuscheiden, wobei der schichtbildende Tellurprecursor noch keiner aus der Gruppe der zu untersuchenden Verbindungen war. Die Suche nach den passenden Reaktionsbedingungen und/oder geeigneteren Precursoren wird fortgesetzt. Auch steht noch eine Optimierung bezüglich der Abscheidungsrate und des abzuscheidenen Verhältnisses aus.

Publications

• Di-μ-oxo-bis[(k1N-N,N'-diisopropylacetamidinato)(k2N,N'-N,N'-diisopropylacetamidinato)germanium(IV)]. Acta Crystallographica Section E: Cristallograhic Communications, Vol. 69. 2013, m686-m687.
  Ronny Syre, Nancy Frenzel, Cristian-G. Hrib, Edmund P. Burte, Frank T. Edelmann
  (See online at https://doi.org/10.1107/S1600536813032133)
• The first aziridinylamidinates - Promising precursors for potentially volatile metal guanidinates. Australian Journal of Chemistry, Vol. 67. 2014, Issue 7, pp. 1110-1114.
  Peter Tutacz, Ronny Syre, Cristian G. Hrib, Liane Hilfert, Nancy Frenzel, Edmund P. Burte, Frank T. Edelmann
  (See online at https://doi.org/10.1071/CH14228)