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Entwicklung einer optischen Plattform zur Mikro- und Nanomontagetechnologie - Laser Assembler

Subject Area Production Automation and Assembly Technology
Term from 2011 to 2018
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 195277955
 
Final Report Year 2017

Final Report Abstract

Innerhalb des Reinhart Koselleck-Projektes wurden theoretische und experimentelle Untersuchungen durchgeführt, die eine fundierte Basis für eine flexible optische Fertigungsplattform bzw. "optische Mikrowerkzeugmaschine" liefern. Neben dem hardwareseitigen Aufbau einer HOT- und einer 2PP-Anlage, wurden auch softwaretechnische Lösungen zur Optimierung und Anpassung dieser Anlagen bereitgestellt. Mit Hilfe der HOT wurde erfolgreich das Greifen, Bewegen und Manipulieren von transparenten sowie nicht-transparenten sphärischen Partikeln demonstriert. Ferner konnte die Handhabung mit beliebig geformten Mikrostrukturen, welche durch das 2PP-Verfahren hergestellt wurden, gezeigt werden. Auf dieser Basis wurden verschiedene Assemblierungsmethoden erforscht, die das Aufbauen von funktionalen und hybriden Mikrosystemen im bottom-up Prozess ermöglichen. Genauer wurden biochemische, thermische und verschiedene formschlüssige Verbindungen analysiert. Die so gefertigten Strukturen konnten bereits für mikrofluidische Anwendungen eingesetzt werden. Neben der Herstellung, dem Transport und der Montage von Mikrobauteilen, wurden auch Lösungen zur Lagerung und Bevorratung der Komponenten untersucht und entwickelt. Die in diesem Projekt gewonnenen Erkenntnisse können in Zukunft genutzt werden, funktionale Mikrosysteme aufzubauen und für verschiedene Anwendungsgebiete, z.B. in der Mikrorobotik, -fluidik, -sensorik sowie der Biotechnologie und Medizintechnik, bereit zu stellen. Ferner ist eine Massenproduktion durch die vorgestellte optische Mikrowerkzeugmaschine denkbar.

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