Nanoimprint-Lithographiesystem

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 197535093

„Das beantragte Nanoimprint-Lithographiesystem bildet das Herzstück eines Nanostrukturierungsla-bors, das im Rahmen eines neuen Forschungsschwerpunktes „Optofluidik und Integrierte Nanophoto-nik“ an der Hochschule Karlsruhe eingerichtet werden soll. Das Nanoimprint-System ist für die Her-stellung von Mikro- und Nanostrukturen in verschiedensten Substratmaterialien dringend notwendig. Die nanostrukturierten Substrate stellen eine Plattform für nahezu alle unsere Forschungsprojekte in den Bereichen Optofluidik, Nanophotonik, und biomedizinische Sensorik dar. An der Hochschule Karlsruhe steht keine vergleichbare Geräteausstattung zur Verfügung. Die Anschaffung des Gerätes ist ein essentieller Teil für die Realisierung des neuen Forschungsschwerpunktes. Hierfür ist das be-antragte Nanoimprint-Lithographiesystem zwingend notwendig.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Hochschule Karlsruhe - ; Technik und Wirtschaft
• Leader: Professor Dr.-Ing. Christian Karnutsch