Kombiniertes Konfokales/Interferenzmikroskop (Phasenschiebung und Vertical-Scanning)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 200370220

Die Forschungsgruppe „Optical-Engineering“ der Hochschule Deggendorf entwickelt und optimiert Prozessketten für die Fertigung optischer Komponenten. Die Bearbeitung hochfester Advanced Mate-rials, wie z. B. SiN, SiC oder AlO erfordert optimierte Verfahren zur Vorbearbeitung, um eine effiziente, maßhaltige Fertigung zu ermöglichen. Die Schleifbearbeitung ist hierbei ein besonders wichtiger Schwerpunkt, da die hier erzielten Ergebnisse maßgeblich für alle nachfolgenden Bearbeitungsschritte sind. Zur Optimierung von Schleifprozessen sind Untersuchungen an Werkzeugen notwendig. Beurteilt werden neben Zustand der Bindung Kornüberstand, Konzentration und Korngeometrie. Das geplante Konfokalinterferometer versetzt die Forschungsgruppe in die Lage den Zustand von Feinstschleifwerkzeugen durch eine zerstörungsfreie Messung zu dokumentieren und quantitativ zu beurteilen. Für die geplanten Forschungsvorhaben zur Entwicklung von Schleifwerkzeugen, unter Anderem für die Erzeugung von Oberflächen in Polierqualität, ist dies eine entscheidende Vorausset-zung. Der Konfokale Messbetrieb kann zur hochgenauen Vermessung kleiner Freiformflächen einge-setzt werden, so dass eine Referenzierung von an der Hochschule entwickelten Prototypenmessgerä-ten möglich wird. Darüber hinaus soll das Gerät zur Referenzierung eines bereits vorhandenen Weißtlichtinterferometers dienen, das zur Beurteilung extrem glatter Oberflächen mit Rauheiten im Angströmbereich eingesetzt wird.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5040 Spezielle Mikroskope (außer 500-503)
• Antragstellende Institution: Technische Hochschule Deggendorf
• Leiter: Professor Dr. Engelbert Hofbauer