Feldemissionsrasterelektronenmikroskop

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 201135923

„Das hier beantragte Gerät soll in zwei Anwendungsbereichen eingesetzt werden. Einerseits soll es als hochauflösendes Elektronenmikroskop die Abbildung von Strukturen mit Abmessungen im Nano- und Mikrometerbereich ermöglichen. Neben dem Betrieb zu Abbildungs- bzw. Materialinspektionszwecken soll das Gerät durch eine Kombination mit einer vorhandenen Ansteuerelektronik für Elektronenstrahllithografie zur lateralen Strukturierung auf der Nanometerskala eingesetzt werden.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Universität Paderborn
• Leader: Professor Dr. Cedrik Meier