Dual-Beam-FIB

• Subject Area: Materials Science
• Term: Funded in 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 215266141

„Wissenschaftliche Zielsetzung des Zentralinstituts für Neue Materialien und Prozesstechnik (ZMP) ist es, in einem interdisziplinären Umfeld neue Leichtbauwerkstoffkonzepte und Fertigungsmethoden zu entwickeln. Dabei stehen Metalle, Keramik und Kohlenstoff und deren Verbunde im Vordergrund. Durch die interdisziplinäre Zusammenarbeit werden neue innovative Werkstoff- und Verarbeitungskonzepte erarbeitet. Für eine gezielte Werkstoff- und Prozesstechnikentwicklung ist dabei eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehung notwendig. Nur über eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur, einschließlich des dreidimensionalen Aufbaus und ihrer Veränderungen durch die einzelnen Prozessschritte ist es möglich, gezielt die (mechanischen) Eigenschaften der Werkstoffe zu verbessern und neue auch unter Ausnutzung neuer nanotechnologischer Ansätze zu entwickeln. In diesem Zusammenhang stellt das Dual-Beam Focused-lon-Beam(FIB) ein elementares Werkzeug für mikroskopische Charakterisierungs- und Strukturierungsaufgaben dar. Das Dual-Beam-FIB trägt dabei entscheidend zur Lösung der Problemstellungen der einzelnen Partner des ZMPs bei und verspricht einen überproportional großen Erkenntnisgewinn. Der methodische Ansatz ist die Verwendung des Dual-Beam-FIB für die mikrostrukturelle Charakterisierung von gradierten Werkstoffsystemen, (Nano-)Kompositen, Beschichtungen, zur Zielpräparation von transmissionselektronenmikroskopischen Proben, zur 3D-Materialanalyse durch in situ Untersuchung von FIB-präparierten Querschnitten und Schnitten in die Tiefe des Materials und zum Nanomachining im hochenergetischen Ionenstrahl.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5130 Sonstige spezielle Elektronenmikroskope
• Applicant Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Leader: Professor Dr. Mathias Göken