Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2012 bis 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 216711612

Super-harte Materialien werden für eine Vielzahl industrieller Anwendungen benötigt, so z.B. für Schneidwerkzeuge von Drehmaschinen oder für kratzresistente Beschichtungen von Oberflächen. Diamantbestückte Werkzeuge können wegen der Bildung von Eisenkarbid nicht für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung Eisen basierter Materialien benutzt werden. Im Rahmen des vorliegenden Projektes soll ein chemischer Gasphasenabscheidungsprozess (CVD) entwickelt werden, um dünne Schichten aus Ruthenium-Diborid auf verschiedenen Oberflächen unter Verwendung kommerziell verfügbarer Precursoren zu wachsen. Zusammensetzung, Phase, Kristallinität und bevorzugte Orientierungen der abgeschiedenen und getemperten Schichten werden mittels Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenstrahl- Photoelektronenspektroskopie und Röntgenbeugung untersucht werden. Unter Verwendung einer Standardmethode wird die Vickershärte der Schichten bestimmt.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen