Laserlithographie-System mit Graustufen-Belichtungsmodus

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: Funded in 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 219185463

„Zum Forschungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik des Instituts für angewandte Forschung (IAF) der Hochschule Furtwangen gehört das 1984 eröffnete Technologielabor für Nano- und Mikrosysteme mit 270 m2 Reinraumfläche, in dem zahlreiche Forschungsprojekte durchgeführt wurden, die zu vielen Veröffentlichungen sowie regionaler Spitzenstellung, nationaler Anerkennung und internationaler Wahrnehmung führten. Bisher waren wir auch auf dem Gebiet der dreidimensionalen Oberflächenstrukturierung mit den Forschungsprojekten Mikroabformung und Miss 3D erfolgreich tätig. Neben verfahrenstechnischen Entwicklungen spielt dreidimensionale Strukturgebung und Lithographie über ausgeprägter Topographie (Tiefenbereich >> 1 μm) in vielen Projekten der Arbeitsgruppe, in denen Mikrosysteme entwickelt werden, eine große Rolle. Dazu gehören u.a. die Projekte „Miniaturisierter Lasersensor“, „Laserpinzette“, „Mikromechanisch hergestellte aktive optische Bauelemente“ und „Smart Energy“. Mit dem hier beantragten Gerät sollen nun unsere Möglichkeiten zur dreidimensionalen Oberflächenstrukturierung wesentlich erweitert werden. Das beantragte Gerät bietet mit seinem Autofokus mit großem Höhenbereich auch die Möglichkeit zur gleichzeitigen Erzeugung von Resist-Strukturen auf der Waferoberfläche und in tiefgeätzten Bereichen, wie sie bei unseren Herstellungsprozessen sehr häufig benötigt werden.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Hochschule Furtwangen
• Leader: Professor Dr. Ulrich Mescheder