Capacitive and ohmic microelectromechanical switches with bridges made of spring stell, especially for application in high frequency systems
Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
Final Report Abstract
Die im Rahmen des Projektes zu bearbeitende Aufgabenstellung beinhaltete das Design, die numerische Simulation und die Herstellung von HF MEMS Schaltern mit Brückenstrukturen aus Federstahl. Hierzu wurde der Sputterprozes von Federstahl entwickelt, erprobt und optimiert. Es wurde gezeigt dass der mechanische Stress in der Stahlschicht von Prozesszeit und Leistung abhängig sind. Deswegen wurde der Sputterprozessablauf in Intervalle mit definierten Abscheide- und Pausenzeit aufgeteilt, um eine mechanische Schichtspannung unter 40 MPa zu erreichen. Niedertemperatur ECR-PECVD-Prozesse zur Abscheidung der dielektrischen Schichten aus Siliziumoxynitrid wurden weiterentwickelt und optimier, um optimale HF-Eigenschaften des Dielektrikums zu erzielen. Die Ätz-Prozesse zur Strukturierung der eingesetzten Schichten wurden ebenfalls auf die Zielsetzung angepasst und optimiert. Ein Messaufbau zur Bestimmung des Elastizitätsmoduls wurde entworfen, gebaut und erfolgreich getestet. Hierzu wurde ein Laser-Interferometer zur Registrierung der Schwingungen eines aus gesputterter Stahlfolie bestehenden Pendels eingesetzt. Ein mathematisches Modell wurde entwickelt, um den E-Modul aus den Messergebnissen zu bestimmen. Im Rahmen des Projekts wurden ferner passive HF Komponente wie Filter und Antennen sowie auch MEMS abstimmbare Strukturen entworfen, hergestellt und messtechnisch charakterisiert. Dazu wurden verschiedene Entwicklungsmethoden wie DGS, DMS, Hairpin- und Ring-Resonatoren etc. eingesetzt.
Publications
- "A new design of a configurable band pass filter based on octagonal resonators, varactor devices, and lumped low pass filter for blocking RF signals," Radar, Communication and Measurement, RADCOM 2013 (Hamburg, Germany), 2013
A. Boutejdar, A. Darwish, A. Omar, and E. Burte
- "Design of a novel ultra-wide stop band low pass filter using quasi-Yagi-DGS-element and parallel compensated capacitors," Radar, Communication and Measurement, RADCOM 2013 (Hamburg, Germany), 2013
A. Boutejdar, A. Omar, and E. Burte
- "LPF Builds On Quasi-Yagi DGS," Microwaves & RF, vol. 4, pp. 52-58, 2013
Boutejdar, A. Omar, and E. Burte
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A. Boutejdar, A. Omar, and E. Burte
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Boutejdar, A., Ibrahim, A., Burte, E.
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Boutejdar, A, Ibrahim, A., Challal, M., Wael, A.A, Burte, E.
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Boutejdar, A, Ibrahim, A., Challal, M., Wael, A.A, Burte, E.
(See online at https://dx.doi.org/10.1109/INTEE.2015.7416727) - "New compact dual bandpass filter using coupled double-ring resonators and DGS-technique" Applied Computational Electromagnetics Society Journal, Volume 31, Issue 2, pp. 132-137, 2016
Boutejdar, A., Eltabit, N.M., Ibrahim, A., Burte, E., Abdalla, M.A.
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A. Ibrahim, A. Batmanov, and E. Burte
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