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Rolled-Up Microsystems

Subject Area Microsystems
Term from 2013 to 2017
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 242694901
 
Final Report Year 2017

Final Report Abstract

Das Rolled-up MEMS (RUMs) Projekt hatte als zentrale Zielsetzung die Herstellung gerollter zylindrischer Systeme, welche in der Ebene strukturiert wurden. Dieser Ansatz erlaubt es ein Vielzahl von etablierten planaren Strukturierungsverfahren im gerollten Zustand für neuen Anwendung zu verwenden. Die Ansätze beschäftigten sich mit der Modifikation des Substratmaterials um dessen Selbstrolleigenschaften zu modifizieren, wie auch mit den Anwendungen die sich aus solchen gerollten Systemen ergeben. Hier lag der Fokus auf mikrofluidischen Zellkulturen und Magnet Resonanz (MR) Sensoren. Das RUM Projekt führte zu einer Vielzahl an innovativen Forschungsergebnissen. Neben geplanten und daher quasi absehbaren Ergebnissen ergaben sich im Laufe des Projekts durch die erzielten Ergebnisse auch neue Fragestellungen und damit auch neuartige Lösungen. Diese Ergebnisse weichen teilweise vom im Antrag primär anvisierten Ziel der selbstgerollten Mikro-(fluidik-)struktur ab, gehören aber trotzdem zu dem Themenkreis der gerollten Mikrosysteme, da auch hier die Funktion im gerollten Zustand ist, während die Strukturierung im Planaren stattfindet. Zusammenfassend kann gesagt werden, dass obwohl nicht alle ursprünglichen Ideen in der anvisierten Form umgesetzt werden konnten, durch die im Laufe der Bearbeitung neu erschlossenen Themen, das Projekt einen sehr erfolgreichen Verlauf genommen hat. Vor allem auf dem Gebiet der Mikromagnetresonanzspektroskopie und -tomographie konnten eine Vielzahl von bisher in ihrer Komplexität und Präzision unerreichter Sensorgeometrien realisiert werden.

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