Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2015
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 287300971

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für die Fakultät Physik der TU Dortmund beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Beschichtungen mit einer kontrollierten Dicke bis hinab zu wenigen Nanometern Dicke herstellen zu können, entweder über thermisches Verdampfen oder über Elektronenstrahlverdampfen oder über Sputtern. Dabei soll es sich beispielsweise um optische Reflexions- bzw. Antireflexionsschichten oder um elektrische Kontakte handeln. Bei der Herstellung der Schichten sollen viele unterschiedliche Materialien miteinander kombinierbar sein. Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche (TRR 142 und TRR 160)darstellen.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Technische Universität Dortmund
• Leader: Professor Dr. Manfred Bayer