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Beeinflussung des Lichtbogenverhaltens im kaskadierten DC-Ein-Kathoden-Ein-Anoden-Plasma-Generator (DC-EKEAPG) zur Verbesserung der Prozessstabilität und der Schichteigenschaften

Fachliche Zuordnung Beschichtungs- und Oberflächentechnik
Förderung Förderung von 2017 bis 2022
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 336061514
 
Erstellungsjahr 2022

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Mit diesem Projekt konnten die beiden Forschungsinstitute einen wesentlichen Beitrag zur Beobachtung des Lichtbogenverhaltens in einem kaskadierten Plasmagenerator herausarbeiten. Darüber hinaus konnten Diagnostiken, Simulations-, Erweiterungs-Manipulationsverfahren entwickelt werden, die sowohl in der aktiven Forschungen, als auch in zukünftigen Untersuchungen genutzt und ausgebaut werden können. Aus den diagnostischen Untersuchungen (z.B. Hallsonden-Messung und Spiegel-High-Speed-Kamera-Aufnahmen), den Simulationen und den darauf aufbauenden experimentellen Untersuchungen lässt sich folgendes Fazit zum Lichtbogenverhalten ableiten: ▪ Klassische konventionelle DC-Ein-Kathoden-Ein-Anoden-Plasma-Generator-Aufbauten besitzen eine axiale und azimuthale Positionsänderung des anodischen Fußpunktes. ▪ Bei dem kaskadierten DC-Ein-Kathoden-Ein-Anoden-Plasma-Generator ist die Position des anodischen Fußpunktes fixiert. ▪ Der anodische Fußpunkt und somit die Lichtbogenposition lassen sich bei diesen Plasmageneratorentypen durch sekundäre Magnetfelder verschieben und beeinflussen. ▪ Die Verschiebung des Fußpunktes haben einen Einfluss auf die Partikeleigenschaften und damit auf den Schichtaufbau. Vergleichend zwischen dem kaskadierten Aufbau und nicht kaskadierten, konventionellen Aufbau kann das „Rainbow-Falschfarbenbild“, als eindeutige Darstellungsmethode zur Fixierung des anodischen Fußpunktes an einem bestimmten Ort, herangezogen werden. In diesen Bildern ist noch einmal der deutliche Unterschied, der Lichtbogenfixierung beim kaskadierten DC-Ein-Kathoden-Ein- Anoden-Plasma-Generator zu erkennen.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

 
 

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