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Quantum dot based non-volatile memory (QD-Flash) with fast write, erase, and read access of a few nanoseconds - Green Memory Concept

Subject Area Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
Experimental Condensed Matter Physics
Term from 2007 to 2017
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 41488511
 
Final Report Year 2018

Final Report Abstract

Ziel des Projektes QD-Flash war es, die prinzipielle Machbarkeit eines quantenpunkt-basierten Halbleiterspeichers zu demonstrieren, und die wesentlichen Leistungscharakteristika des Konzeptes (Speicher-, Schreib-, Löschzeiten, Haltbarkeit) zu untersuchen. Die Projektziele waren technisch und wissenschaftlich äußerst anspruchsvoll, und damit auch risikobehaftet. Es konnte demonstriert werden, dass Information in selbstorganisierten Quantenpunkten gespeichert, manipuliert und erfolgreich wieder ausgelesen werden kann. Somit ist die prinzipielle Machbarkeit eines Quantenpunktspeichers (QD-Flash) demonstriert. Die Speicherzeit in Quantenpunkten ist eines der wichtigsten Leistungscharakteristika, wenn man Nichtflüchtigkeit der gespeicherten Informationen erreichen will. Die Speicherzeit hängt von zwei Eigenschaften der Quantenpunkte ab: der Lokalisierungsenergie und dem Einfangquerschnitt. Im Rahmen des Projektes war es möglich, durch Verwendung verschiedener völlig neuer Typ-II Materialsysteme die Lokalisierungsenergie auf einen neuen Rekordwert von 1,18 eV zu erhöhen (vor Projektbeginn: 710 meV). Dementsprechend konnte eine Rekord-Speicherzeit von 3,9 Tagen bei Raumtemperatur realisiert werden (bisheriger Rekord: 1.6 s). Ein Weg, die Nichtflüchtigkeitsgrenze (10 Jahre bei Raumtemperatur) zu erreichen, könnte der Einsatz einer AlP-Barriere sein. Dadurch würde die Lokalisierunsenergie - und somit die Speicherzeit - nochmals erhöht. Alternativ könnte der Einfangquerschnitt weiter erniedrigt werden. Eine weitere wichtige Kennzahl bei Speichern ist die Schreibzeit. Hier konnte eine Schreibzeit von ~6 ns in QPen in einfachen pn-Diodenstrukturen demonstriert werden. Dies liegt bereits im Bereich der DRAM-Zugriffszeit, was den QD-Flash hinsichtlich dieser Kennzahl konkurrenzfähig macht. Bei den HEMT/MODFET-Prototypstrukturen konnten Schreibzeiten unterhalb von 10 ns demonstriert werden. Sowohl bei den pn-Dioden als auch HEMT/MODFET-Strukturen ist die Schreibzeit derzeit noch limitiert durch parasitäre Effekte. Eine Optimierung (Skalierung der Strukturgrößen) verspricht hier wesentlich kürzere Schreibzeiten. Die Löschzeiten konnten in Diodenstrukturen mit eingebetteten QPen bestimmt werden. Die Löschzeit ist 44 ns für InAs/GaAs QPe (Elok = 210 meV) bei einem elektrischen Feld von 144 kV/cm und 1.5 ms für GaSb/GaAs QPe (Elok = 450 meV) bei einem elektrischen Feld von 206 kV/cm. Bei den InAs/GaAs-HEMT/MODFET-Strukturen wurden Löschzeiten leicht oberhalb von 100 ns gemessen. Generell zeigt sich eine starke Abhängigkeit der Löschzeit von der Lokalisierungsenergie (Elok). Es existiert ein Trade-off: eine längere Speicherzeit resultiert auch in einer längeren Löschzeit, da sich die Emissionsbarriere erhöht. Unsere Modellierungen zeigen, dass die Lösung dieses Trade-offs der Einsatz einer Übergitterstruktur unter Ausnutzung resonanter Tunneleffekte ist. In einem Einzeltest konnte die Haltbarkeit des QD-Flash bestimmt werden. Sie liegt oberhalb von 106 Schreib- und Löschzyklen. Zusammenfassend stellt die Gesamtmenge der Ergebnisse des Projektes einen Durchbruch des Arbeitsgebietes dar. Viele Gruppen in der ganzen Welt, in Singapur, Taiwan, China, … haben basierend auf unseren Ergebnissen Arbeiten auf diesem Gebiet aufgenommen und setzen unsere Pionierarbeiten fort.

Publications

  • A write time of 6 ns for quantum dot-based memory structures. Appl. Phys. Lett. 92(9), 092108 (2008) und Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 17, 11 (2008)
    M. Geller, A. Marent, T. Nowozin, D. Bimberg, N. Akçay, and N. Öncan
    (See online at https://dx.doi.org/10.1063/1.2890731)
  • Self-organized quantum dots for future semiconductor memories. J. Phys. - Condens. Mat. 20(45), 4 (2008)
    M. Geller, A. Marent, T. Nowozin, and D. Bimberg
    (See online at https://dx.doi.org/10.1088/0953-8984/20/45/454202)
  • Hole-based memory operation in an InAs/GaAs quantum dot heterostructure. Appl. Phys. Lett. 95(24), 3 (2009) und Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 21, 1 (2010)
    A. Marent, T. Nowozin, J. Gelze, F. Luckert, and D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.3275758)
  • Temperature and electric field dependence of the carrier emission processes in a quantum dot-based memory structure. Appl. Phys. Lett. 94(4), 042108 (2009) und Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology 19, 6 (2009)
    T. Nowozin, A. Marent, M. Geller, D. Bimberg, N. Akçay, and N. Öncan
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.3076126)
  • The QD-Flash: a quantum dot-based memory device. Semicond. Sci. Technol. 26 014026 (2011)
    A. Marent, T. Nowozin, M. Geller, and D. Bimberg
    (See online at https://dx.doi.org/10.1088/0268-1242/26/1/014026)
  • Time-resolved high-temperature detection with single charge resolution of holes tunneling into many-particle quantum dot states. Phys. Rev. B 84, 075309 (2011)
    T. Nowozin, A Marent, G. Hönig, A. Schliwa, D. Bimberg, A. Beckel, B. Marquardt, A. Lorke, and M. Geller
    (See online at https://doi.org/10.1103/PhysRevB.84.075309)
  • Growth of In0.25Ga0.75As quantum dots on GaP utilizing a GaAs interlayer. Appl. Phys. Lett. 101, 223110 (2012)
    G. Stracke, A. Glacki, T. Nowozin, L. Bonato, S. Rodt, C. Prohl, H. Eisele, A. Schliwa, A. Strittmatter, U.W. Pohl, D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4768294)
  • Linking structural and electronic properties of high-purity self-assemble GaSb/GaAs quantum dots. Phys. Rev. B 86, 035305 (2012)
    T. Nowozin, A. Marent, L- Bonato, A. Schliwa, D. Bimberg, E.P. Smakman, J.K. Garleff, P.M. Koenraad, R.J. Young, M. Hayne
    (See online at https://doi.org/10.1103/PhysRevB.86.035305)
  • 800 meV localization energy in GaSb/GaAs/Al0.3Ga0.7As quantum dots. Appl. Phys. Lett. 102, 052115 (2013)
    T. Nowozin, L. Bonato, A. Högner, A. Wiengarten, D. Bimberg, W.-H. Lin, S.-Y. Lin, C. J. Reyner, B. L. Liang and D. L. Huffaker
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4791678)
  • Electronic properties and density of states of self-assembled GaSb/GaAs quantum dots. J. Nanotech. 2013, 302647 (2013)
    T. Nowozin, A. Wiengarten, L. Bonato, D. Bimberg, W.-H. Lin, S.-Y. Lin, M. N. Ajour, K. Daqrouq and A. S. Balamesh
    (See online at https://dx.doi.org/10.1155/2013/302647)
  • 3 ns single-shot read-out in quantum dot-based memory structure. Appl. Phys. Lett. 104, 053111 (2014)
    T. Nowozin, A. Beckel, D. Bimberg, A. Lorke and M. Geller
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4864281)
  • Indirect and direct optical transitions in In0.5Ga0.5As/GaP quantum dots. Appl. Phys. Lett. 104, 123107 (2014)
    G. Stracke, E. M. Sala, S. Selve, T. Niermann, A. Schliwa, A. Strittmatter and D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4870087)
  • 230 s room-temperature storage time and 1.14 eV hole localization energy in In0.5Ga0.5As quantum dots on a GaAs interlayer in GaP with an AlP barrier. Appl. Phys. Lett. 106, 042102 (2015)
    L. Bonato, E. M. Sala, G. Stracke, T. Nowozin, A. Strittmatter, M. N. Ajour, K. Daqrouq and D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4906994)
  • Tuning the tunneling probability between low-dimensional electron systems by momentum matching. Appl. Phys. Lett. 106, 243105 (2015)
    D. Zhou, A. Beckel, A. Ludwig, A. D. Wieck, M. Geller and A. Lorke
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4922738)
  • Growth and structure of In0.5Ga0.5Sb quantum dots on GaP(001). Appl. Phys. Lett. 109, 102102 (2016)
    E. M. Sala, G. Stracke, S. Selve, T. Niermann, M. Lehmann, S. Schlichting, F. Nippert, G. Callsen, A. Strittmatter and D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1063/1.4962273)
  • Hole localization energy of 1.18 eV in GaSb quantum dots embedded in GaP. Phys. Status Solidi B 253(10), 1877-1881 (2016)
    L. Bonato, I. F. Arikan, L. Desplanque, C. Coinon, X. Wallart, Y. Wang, P. Ruterana and D. Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1002/pssb.201600274)
  • QD-Flash: Towards non-volatility in quantum dot based storage. Proc. 24th Int. Symposium “Nanostructures: Physics and Technology”, St. Petersburg, p.1 (2016)
    D. Bimberg and L. Bonato
    (See online at https://doi.org/10.1088/0268-1242/26/1/014026)
  • Morphology and valence band offset of GaSb quantum dots grown on GaP(001) and their evolution upon capping. Nanotechnology 28(22) (2017)
    L. Desplanque, C. Coinon, D. Troadec, P. Ruterana, G. Patriarche, L. Bonato, D. Bimberg and X. Wallart
    (See online at https://doi.org/10.1088/1361-6528/aa6f41)
  • Transparency Engineering in Quantum Dot-Based Memories. Phys. Status Solidi A (2018) 18000018
    Ismail Firat Arikan, Nathanael Cottet, Tobias Nowozin, and Dieter Bimberg
    (See online at https://doi.org/10.1002/pssa.201800018)
 
 

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