Oberflächenwellenmagnetfeldsensoren (A09)

Das Forschungsprojekt befasst sich mit der Erforschung von akustischen Oberflächenwellen (SAW) als Magnetfeldsensoren. Es werden zwei Typen zur Verbesserung der Sensoreigenschaften untersucht: SC SAW-Sensoren mit piezoelektrischen Einkristallen und Dünnfilm-SAW-Sensoren mit einer piezoelektrischen AlScN-Schicht. Für die SC SAW soll LiNbO3 als Substrat systematisch untersucht werden, was eine große Bandbreite an Variationen bei Betriebsfrequenz und Design ermöglicht. Bei den Dünnfilm-SAW-Sensoren liegt der Schwerpunkt auf der Verbesserung der Empfindlichkeit durch phononische Kristalle, der Verringerung der Substratverluste und der Erforschung des Wachstums von AlScN-Schichten mit geneigter c-Achse auf Saphir.

DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche

Teilprojekt zu SFB 1261:  Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose

Antragstellende Institution Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

Teilprojektleiter Professor Dr. Fabian Lofink; Professor Dr.-Ing. Eckhard Quandt