Nanoimprint-Anlage

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: from 2007 to 2009
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 49926775

Am Lehrstuhl für Prozesstechnologie des IMTEK Freiburg werden insbesondere Fertigungsverfahrenuntersucht, welche zur Herstellung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten und Systemeneingesetzt werden können. Die Lithographie, Galvanik, Ultra-Präzisions-Bearbeitung (UPM),Elektrochemischen Abtragens (ECM) und das Funkenerosive Mikrodrahtschneiden (WEDM) sindBeispiele dafür. Mit Hilfe des Heißprägeprozesses und Spritzguss werden Mikrostrukturen von einemMaster in thermoplastisch verformbare Polymere kopiert. Einen ungleich größeren Wert haben dieseTechnologien, wenn sie im Zusammenhang als Prozesskette genutzt werden. So lassen sich durchKombination der Prozesse Mikrostrukturen, bei Bedarf auch Nanostrukturen, in unterschiedlichstenWerkstoffen realisieren.Beim Übergang vom Mikro- in den Nanometerbereich zeigt sich in unterschiedlichen Arbeitsgruppendie Werkzeugherstellung als eines der größten Probleme, die im Bereich der Nano-Imprint Verfahrenbestehen. Zur erfolgreichen Erforschung dieser Themen ist es notwendig, die Prozesskette von derWerkzeugvorbereitung über die Werkzeugstrukturierung bis zur Durchführung der Replikation zubeherrschen, um die Ergebnisse im Replikationsprozess interpretieren zu können und das Verfahrenweiter entwickeln zu können. Die Anlage steht allen 18 Lehrstühlen des IMTEK zur Verfügung.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• Leader: Professor Dr. Holger Reinecke