Fertigung magnetischer Schichten für elektromagnetische Mikroaktoren (B 01)

Fachliche Zuordnung Mikrosysteme

Förderung Förderung von 1998 bis 2010

Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5482803

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden

DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche

Teilprojekt zu SFB 516: Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme

Großgeräte Gasfluss-Sputteranlage

Antragstellende Institution Technische Universität Braunschweig

Mitantragstellende Institution Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST); Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover

Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Professor Dr. Günter Bräuer; Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen; Professorin Dr.-Ing. Christine Ruffert