Ionenstrahlmodifizierung von polymeren Funktionsschichten zur gezielten Einstellung von Sensorfunktionen

Antragsteller Dr. Klaus-Jochen Eichhorn

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik

Förderung Förderung von 1999 bis 2003