Project Details
Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion
Applicant
Professor Dr.-Ing. Kurt Drescher
Subject Area
Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
Term
from 1995 to 2001
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5200816