Image-based spectral ellipsometry for simultaneous detection of material and shape-based surface structures

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Wolfgang Holzapfel
• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 1999 to 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5204528

Es soll theoretisch/experimentell untersucht werden, ob eine schnelle, bildhafte Vermessung von technischen Oberflächen mit neuen ellipsometrisch-spektroskopischen Verfahren durchführbar ist. Durch abbildende Differentialtopometrie und brechzahlgestützte Materialidentifikation soll simultan sowohl die Topographie (Form, Welligkeit) als auch die Materialverteilung an der Oberfläche mit hoher lateraler Auflösung ermittelt werden. Für die angestrebte bildhafte Erfassung ist die schnelle und simultane Messung von vier ellipsometrischen Kenngrößenverläufen bei mehreren Lichtwellenlängen mit Hilfe eines hochauflösenden topometrischen Ellipsometers sowie eine leistungsfähige Signalauswertung zu realisieren. Der Einfluß der Rauheit auf die Meßgenauigkeit und Detektionssicherheit ist zu untersuchen.

• DFG Programme: Research Grants