Mikrosystem-Bauelemente: Automatische Gitteradaption zur effizienten numerischen Simulation mehrlagiger dünner, elektrisch aktiver Strukturen (MST-Komponenten)

• Applicant: Professor Dr. Jan Gerrit Korvink
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2000 to 2003
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5229958

Bei der numerischen Simulation von Mikro- und Nanostrukturen vermindern große Seitenverhältnisse, die sich auch in Finiten Element Gittern wiederfinden, die Güte des Ergebnisses erheblich; die Wahl einer kleinen Maschenweite führt zu Gittern, die meist jenseits heutiger Rechnerkapazitäten liegen. Nur Softwaresysteme, die zur Selbstkorrektur befähigt sind, können der numerischen Genauigkeit angepaßte Resultate liefern. Dies geschieht durch fehlerangepaßte lokale Gitterverfeinerung und erlaubt es, die gewünschten physikalischen Effekte unter optimaler Ausnutzung der Leistungsfähigkeit der zur Verfügung stehenden Rechneranlagen mit maximaler Genauigkeit zu simulieren. Aufbauend auf unserem bewährten CAD-Modul FEMEngine soll dieses Projekt die Untersuchung lokaler Verfeinerbarkeit und Manipulation von Gittern, welche die Geometrie von dünnen Schichten adäquat beschreiben, unter Vorgabe der numerischen Genauigkeit der zu analysierenden physikalischen Größen im Rahmen eines sich selbst korrigierenden Softwaresystems zum Gegenstand haben.

• DFG Programme: Research Grants