Untersuchungen von UV-laserinduzierten Absorptionszentren und deren Vorstufen in Gläsern mit hoher DUV-Transmission

• Antragsteller: Professor Dr. Wolfgang Triebel
• Fachliche Zuordnung: Metallurgische, thermische und thermomechanische Behandlung von Werkstoffen
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5231760

Auf Grund der aktuell in der Mikrolithographie als Strahlungsquellen verwendeten Excimer-Laser (KrF für 248 nm, ArF für 193 nm) und in Zukunft der F2-Laser für 157 nm ergibt sich die Notwendigkeit der Charakterisierung von laserinduzierten Änderungen der optischen Eigenschaften von Materialien hoher DUV-Transmission. In der bisherigen Projektarbeit wurden Methoden entwickelt und angewendet (Laserinduzierte Fluoreszenz, gepulste UV Ramanspektroskopie, Messung kleinster Absorptionen und lasergekoppelte VUV-Spektotroskopie), die eine Charakterisierung von repräsentativen Proben in im Vergleich zu "Marathontests" kurzen Zeit ermöglichen. Abgeleitet aus diesen Ergebnissen sollen Voraussagen zum Langzeitverhalten bei Laserbeschluß gewonnen werden, welche nur möglich sind, wenn physikalisch-chemisch sinnvolle Modellvorstellungen zu den Schädigungsmechanismen bekannt sind. Die Erarbeitung derartiger Modelle ist ein bisher ungelöstes Problem, jedoch liefern die bisherigen experimentellen Ergebnisse an OH-reichen synthetischen Quarzgläsern erfolgversprechende Ansätze und sollen auf Grund aktueller Resultate erweitert werden. Ziel der weiteren Arbeiten ist die Vertiefung des Verständnisses der Materialbeeinflussung durch Excimerlaser bei komplexer Nutzung der entwickelten und vorhandenen Meßtechnik, die auch die Untersuchung von Temperaturabhängigkeiten gestattet. Neue Erkenntnisse über wesentliche, die Materialeigenschaften beeinflussende Faktoren werden erwartet.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen