Bulk Silicon micromachining for optical fiber switches and attenuators

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Edgar Voges (†)
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 2000 to 2006
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5249494

Die Silicium-Volumenmikromechanik soll als neuer Ansatz für aktorische Systemkomponenten in Fasernetzen untersucht werden. Beispielhaft sollen multistabile faseroptische Schalter und Schalterarrays mit Einmodenfasern für Schutzschaltungen und zur Netzrekonfiguration sowie einstellbare Dämpfungsglieder für optische Nachrichtensysteme entwickelt und untersucht werden. Die Schalter mit bewegten, jeweils stoßgekoppelten Fasern sollen mit Verfahren der Si-Volumen-Mikromechanik unter Nutzung neuartiger Strukturierungsverfahren hergestellt werden. Als Ergebnis der grundlegenden Untersuchungen werden in Planartechnik und mit einfacher Aufbautechnik fertigbare neuartige Schalter und Schalterzeilen erwartet, die den Anforderungen optischer Übertragungssysteme genügen. Die Dämpfungsglieder und -arrays für WDM-Netzknoten sollen nach den Prinzipien der Schalter aufgebaut werden.

• DFG Programme: Research Grants
• Participating Person: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann