Synthese und Charakterisierung stabiler Verbindungen im System Si-C-N

• Antragsteller: Dr. Michael Bruns
• Fachliche Zuordnung: Analytische Chemie
• Förderung: Förderung von 2000 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5261502

Stabile ternäre Siliciumcarbonitrid-Verbindungen sind aufgrund der erhofften vielfältigen Eigenschaften, besonders aber im Hinblick auf Hochtemperaturstabilität, eine vielversprechende Werkstoffklasse. Nach der vorgesehenen Entwicklung eines Syntheseverfahrens auf der Basis von HF- Magnetronsputtern sollen im Ergebnis Prozessparametersätze zur Verfügung stehen, die es erlauben, dünne Schichten der reinen Verbindungen mit definierter Zusammensetzung und vorgegebener Kristallinität herzustellen. Grundlegende Untersuchungen zum Syntheseprozess sollen dabei die Übertragbarkeit des Verfahrens auf weitere Verbindungsklassen sichern. Neben der Speziation oberflächennaher Schichten sollen auch tieferliegende Schichten mittels XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) nahezu zerstörungsfrei charakterisiert werden. Dafür muss der notwendige Materialabtrag duch niederenergetische Ionen realisiert werden, damit der schädigende Einfluss der Ionen auf die freigelegten neuen Oberflächen auf einen Bruchteil der Informationstiefe von XPS begrenzt werden kann. Auf diese Weise werden auch vergrabene Schichten für eine Speziation duch XPS unter Erhalt der chemische-analytischen Information zugänglich.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen