Massensensitive Dünnschichtscherwellenresonatoren basierend auf neuartigen, MOVPE gewachsenen, Piezoelektrischen GaN Schichten

• Antragsteller: Professor Dr. Alois Krost (†); Professor Dr. Leonhard Michael Reindl
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2007 bis 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 52753275

• Erstellungsjahr: 2010

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Keine Zusammenfassung vorhanden

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

• „Reduced Order Finite Element Models of Bulk Acoustic Wave Resonators“, IEEE Ultrasonics Symposium, pp.2123-2128, 2009
  P. Katus and L. Reindl
  
• „Piezoelectric Sensor Arrangement Comprising a Thin Layer Shear Wave Resonator Based on Epitactically Grown Piezoelectric Layers“, Pat.No. 20100127600, 05.27.2010
  A. Dadgar, M. Loschonsky and L. Reindl