Diagnostik und Optimierung des Plasmafreistrahls

• Antragsteller: Dr.-Ing. Rudolf Henne
• Fachliche Zuordnung: Produktionsautomatisierung und Montagetechnik
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2005
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5275646

Das Projekt soll sich schwerpunktmäßig mit der Untersuchung des Pulverinjektionsvorgangs und dem Einfluss der Injektionsanordnung und der Injektionsparameter auf Strahlstabilität, den Verlauf von Trägergas und Partikel, die Wechselwirkung Plasma/Kaltgas und das Depositionsergebnis befassen. Da das Entwicklungszeit bei höherer Schichtqualität und Depositionsausbeute liegt, müssen diese Untersuchungen zusammen mit einer wechselseitigen Adaptation von Anodendüsen- und Brenneraußenkonturen erfolgen, da von diesen - wie sich im Vorprojekt deutlich herausgestellt hat - eine starke Einflussnahme ausgeht. Daneben ist vorgesehen, die Strömungsverhältnisse an unterschiedlich ausgebildeten Substratoberflächen zu untersuchen, um damit nähere Kenntnisse über deren Einfluss auf den Depositionsvorgang und auf die entstehende Schichtmorphologie zu erhalten. Für diese neue bzw. erweiterte Aufgabenstellung ist die vorhandene Diagnoseeinrichtung, bestehend aus Experimentierkessel, Brennerbetriebseinrichtung, Kurzzeitschlierenoptik und Enthalpiesonde mit integriertem Massenspektrometer in Teilen zu modifizieren und zu ergänzen. Vor allem für die Untersuchung der resultierenden Partikelbahnen sollen auch die bei den Projektpartnern ertüchtigten Verfahren herangezogen werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen