Submillimeterwellen-Schaltungen

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5464996

Ziel des Vorhabens im Rahmen der Forschergruppe ist die Fortführung der Entwicklung von Technologien und Komponenten für Sub-Millimeterwellenschaltungen, insbesondere von Abstimmelementen und komplexen Schaltungen und Antennen auf Basis mikrogeschirmter Leitungen, basierend auf dünnen Siliziumoxinitridmembranen, Hochraten-Plasmaätztechnik von Silizium, Dünnschichtmetallisierung und einer Hochfrequenz- tauglichen Verbindungstechnik für mehrere Substrate. Mit dieser Technologie sollen in Zusammenarbeit mit den Partnern weitere integrierte Hochfrequenzschaltungen für Impattoszillatoren, Empfänger und Mischer mit besonderem Schwerpunkt auf deren Synchronisierbarkeit und Leistungsoptimierung entwickelt werden, die insbesondere neuartige Abstimmelemente für eine dauerhafte Feinabstimmung enthalten, die vorzugsweise elektrostatisch verstellt werden sollen. Besonderes Augenmerk soll dabei auf das Zusammenspiel wie Synchronisierung, Thermomechanik und stabiler Betrieb der einzelnen komplexen Schaltungsteile im Array gelegt werden. Um die Ausbeute gegenüber der direkten Integration in Arrays zu erhöhen, sollen Methoden zur vollständigen Charakterisierung einzelner Teilschaltungen über Antennenstrukturen und Hohlleiten-neßschaltungen entwickelt werden. Die mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in simultanen Prozessen hergestellten Teilschaltungen sollen anschließend in einem selbstjustierenden hybriden Aufbau integriert werden.

• DFG-Verfahren: Forschungsgruppen
• Teilprojekt zu: FOR 321: Submillimeterwellen-Schaltungstechnologie