Unkonventionelle Lithographie
(G 02)
Subject Area
Physical Chemistry of Molecules, Liquids and Interfaces, Biophysical Chemistry
Term
from 2001 to 2011
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5484409
Inhalt des TP G2 ist es, die Selbstorganisation beladener Kolloide und Mizellen zu nutzen, um zunächst geordnete Muster der kolloidalen oder mizellaren Träger zu erhalten, die sich dann durch Plasmaprozesse in entsprechend geordneten Nanoteilchen (NT) umwandeln lassen. Dabei können Größe und Abstand der resultierenden NT über einen weiten Bereich der Nanoskala kontrolliert variiert werden. Nutzt man die NT als Maske bei nachfolgenden Ätzprozessen, so lassen sich die ursprünglichen Muster in das jeweilige Substrat übertragen und man erhält z.B. Anordnungen von Nano-Säulen oder -Poren, die zu neuen Funktionen führen können.
DFG Programme
Collaborative Research Centres
Major Instrumentation
RTP-Ofen
Instrumentation Group
8490 Sonstige Oefen und Wärmegeräte (außer 840-848)
